1

表面轮廓综合测量仪

100元/数据

80元/数据

50元/数据

－

精密测量实验室

吴老师

153 2731 2660

2

干涉仪

500

400

250

－

任老师

180 6409 3088

3

三坐标测量机

（单次最低收费300元）

120元/数据

90元/数据

60元/数据

－

600元/曲线

480元/曲线

300元/曲线

－

4

三维白光干涉显微镜 

ContourGT-K *

120元/半小时

90元/半小时

60元/半小时

－

5

三坐标测量机

(关节臂)

500

382

239

145

6

激光跟踪仪

1000

800

500

－

7

扫描电子显微镜

SU3900 *

500

300

300

SEM:100SEM+EDS:300

朱老师

朱老师

张老师

任老师

133 0862 6993

189 0863 6998

132 9794 0682

180 6409 3088

8

自动变焦

三维表面测量仪

 IFM G5

329

263

165

115

姜彦茹

15927190126

9

五坐标横梁移动龙门加工中心

785

628

393

353

装备制造实验室

谭老师

汪老师

150 7231 5779

150 7118 4115

10

卧式车削中心

239

191

120

95

11

五轴加工中心

VMC-C50

300

240

150

120

装备制造实验室

李老师

136 5720 8263

12

立式五轴加工中心

(米克朗)*

802

642

401

361

13

自动对刀仪

116

90

58

33

14

刀具检测仪

195

156

98

73

15

大型车铣复合

加工中心

563

451

282

242

装备制造实验室

谭老师　

150 7231 5779　

16

五轴数控铣床

GHMP32015A

205

164

103

83

17

机器人NJ220-2.7

137

109

68

53

18

立式车削中心

334

267

167

142

19

磁悬浮轴承铣削电主轴配套用

五轴加工中心

472

377

236

146

20

磁悬浮轴承铣削

电主轴设备

105

84

52

43

21

精密车镗

复合加工设备

121

97

61

51

22

智能制造装备原型

(双面车床)

153

122

77

67

23

智能制造大数据中心软件平台

153

107

77

－

24

压力试验机*

85

68

43

35

25

慢走丝线切割机床*

200

160

100

-

陈老师

151 7143 9255

26

激光切割机JKD5120

1000

800

800

－

27

激光干涉仪(雷尼绍)

252

192

120

80

--

28

高效数控磨床

200

160

100

80

--

29

高速曲轴磨床砂轮架SJ-700

129

103

64

54

--

30

聚焦离子电子双束系统

SEM形貌

1000

800

600

-

微纳加工与测量实验室

周一周二:朱老师

周三周四:朱老师

周五:张老师

133 0862 6993

189 0863 6998

132 9794 0682

FIB切割TEM制样

2000

1200

1000

-

EBSD

600

500

300

-

EDS能谱

25元/点；50元/线；100元/面

-

喷金

60元/次

-

31

纳米精密车铣

复合机床

1000

800

600

-

微纳加工与测量实验室

朱老师　

189 0863 6998

32

高精度几何形貌检测设备（白光干涉仪）NewView 8300

600

400

300

-

33

超声原子力模量成像分析仪

375

290

187

100

34

钨灯丝扫描电镜

251

194

125

80

35

超声扫描显微镜

468

362

234

180

36

原子力显微镜

394

305

197

80

37

数字全息显微镜

472

365

236

180

38

广义椭偏仪

475

367

238

180

39

高斯计

267

206

133

90

40

圆片键合机

300

200

150

50

41

NI PXI系统

213

165

107

40

42

激光共聚焦显微镜

400

200

160

130

--

朱博士

133 8759 6345

43

高速显微摄像系统

240

186

120

80

--

44

超景深三维显微镜

160

120

80

60

柔性电子制造实验室

朱老师

张老师

133 0862 6993

132 9794 0682

45

拉曼光谱仪

400

200

150

120

46

材料试验系统

250

200

125

100

47

四探针台+半导体特征分析系统

设备损坏，暂停共享

400

240

200

190

48

双面对准曝光机

400

240

180

100

柔性电子制造实验室

张老师

132 9794 0682

49

反应离子刻蚀机

400

200

150

100

50

HMDS专用镀膜机

120元/片

100元/片

70元/片

50元/片

51

第二代电流体

喷印设备*

341

264

170

90

52

平面网印机

205

158

102

70

53

多功能电子喷印设备

320

200

110

90

54

可控微环境

电子打印设备

180

137

90

70

55

超纯水

15兆欧

18元/升

15元/升

9元/升

-

柔性电子制造实验室

朱老师

133 0862 6993

18兆欧

22元/升

18元/升

12元/升

-

56

原子沉积系统

680元/样

380元/样

300元/样

200

57

第一代原子层

沉积设备

* (氧化铝(100nm以下)；参数不同时价格面议)

600元/样

480元/样

300元/样

100

58

管流式原子层

沉积系统

* (100mg以内，包覆氧化铝5nm以内)

1000元/样

800元/样

500元/样

75

59

离心流化式原子层

沉积系统

* (100mg以内，包覆氧化铝5nm以内)

1000元/样

800元/样

500元/样

75

60

RH-200原子层

沉积系统

*(氧化铝(100nm以下)；两样起，样品较多时价格面议)

600元/样

500元/样

480元/样

75

柔性电子制造实验室

朱老师

133 0862 6993

61

粉体ALD系统

* (100mg以内，包覆氧化铝5nm以内)

1000元/样

800元/样

500元/样

75

62

高效空间隔离原子层沉积薄膜制备系统

300

180

100

60

63

热蒸发仪系统

278

212

139

60

64

磁控溅射镀膜系统

288

220

144

72

65

椭圆偏振光谱仪

360

200

100

-

66

可控气氛傅里叶变换红外光谱仪

400

220

160

100

67

高频高精度六分量

测力装置

341

264

171

80

微纳加工与测量实验室

朱老师

189 0863 6998

68

高速数据采集与实时分析系统

276

213

138

40

69

精密运动机构特性

实验平台

311

240

155

100

70

超精密微振动测试与分析系统

304

235

152

100

71

纳米力学性能

综合实验系统

600

500

300

-

柔性电子制造实验室

朱老师

133 0862 6993

72

纳米粒子沉积系统

320

180

110

-

73

脉冲激光沉积系统

550

350

150

100

74

原子力显微镜

5500AFM/STM

360

180

120

100

75

原子力显微系统

ALD200

380

200

110

100

76

立式钻攻中心TC500

166

133

83

73

装备制造实验室

谭老师

150 7231 5779

77

立式钻攻中心

TC500R

170

136

85

75

78

立式加工中心

XHK514

196

157

98

78

79

复杂曲面零件三维

精密测量设备

800

680

500

186

赵老师

159 2154 9952

80

激光填丝及复合

焊接头组*

333

267

167

117

韩博士

150 7137 7598

81

多轴加工工业机器人

800

650

400

-

孙老师

87544074

186 7236 1268

82

X射线残余应力

分析仪

520

416

260

-

--

83

高分辨率铣削测力仪

300

240

150

-

--

84

激光跟踪干涉仪

560

448

280

-

--

85

自动变焦三维表面测量仪 Smart Proof 5

500

400

250

-

--

86

旋转切削测力计

300元/次

200元/次

100元/次

-

--

87

高速切削旋转测力仪

300元/次

200元/次

100元/次

-

--

88

高速图像测量系统

300元/样

200元/样

100元/样

-

--

89

机械振动测试分析仪

600元/次

480元/次

300元/次

-

--

90

LMS高性能精密机械振动测试分析系统

510

400

200

-

--

91

三坐标测量机

140

112

70

-

--

汪老师

189 7169 3598

92

齿廓螺旋线测量仪

110

88

55

-

--

93

青研EyeLab眼动

测试系统

90

45

70

-

--

赵老师

185 0715 9929

94

噪声和震动测试

分析系统

650

500

300

-

--

李状

182 7146 2583

95

多通道振动噪声信号采集器

650

500

300

-

--

96

动态信号分析软件

650

500

300

-

--

97

微束氩弧焊接系统

200

150

100

-

--

宋老师

134 7608 1655

98

超声波扫描显微镜

400

250

200

-

--

左老师

136 6729 8009

99

薄膜综合物性分析仪

1000元/样

600元/样

400元/样

-

--

陈博士

158 2717 6117

100

红外光点三维运动

分析系统

400

200

200

-

--

陈老师

158 0716 4613

101

三维数字测力仪

300

150

150

-

--

102

脑电仪

400

200

200

-

--

张老师

136 2729 5680

103

旋转切削测力仪

188

151

94

-

--

姜彦茹

159 27190126

104

振动信号采集与分析系统LMS

412

318

206

-

--

曾老师

136 5720 8263

105

振动噪声模态应变测试分析系统LMS

689

509

294

-

--

106

超精密运动系统

基础平台

410

317

205

-

--

107

双频激光干涉

测量系统

347

268

173

-

--

108

光学三维扫描

测量系统

600

400

260

-

--

安成

177 7133 5672

109

数控重型机床台

设备损坏，暂停共享

200

150

100

-

--

刘老师

189 9566 1211

110

动态力学性能

综合测试系统

600

400

200

-

--

张老师

139 7152 8102

111

三维流场测量系统

不对外

3000

2000

-

--

李老师

87542079

112

红外线热成像仪

300

200

150

-

--

熊老师

180 6400 6765

113

扫描式测振仪

400

300

200

-

--

114

电机测试系统

500元/天

300元/天

100元/天

-

--

宋老师

189 8605 1800

115

电子动态试验机

2000

1000

500

-

--

陈老师

188 0714 5859

116

倒置荧光显微镜

1000

500

300

-

--

117

高速摄像机

2000

1000

500

-

--

118

半导体泵浦固体

激光器

300元/样

250元/样

250元/样

10个样起测

119

超声速测量仪

300

200

200

-

--

杨老师

133 0863 8928

120

高功率光纤熔接机

系统

400元/焊点

200元/焊点

100元/焊点

-

--

王老师

181 6410 9599

121

100KN疲劳试验系统

360

180

90

-

--

韩博士

150 7137 7598

122

柔性电子曲面共形

集成制造平台

280

224

140

-

--

张老师

132 9794 0682

123

金属材料激光冲击

强化3D打印机

不锈钢316L、不锈钢15-5PH、不锈钢17-4PH、模具钢H13：675元/小时
模具钢1.2709：750元/小时
钛合金Ti6Al4V、钴铬合金、铝合金、镍合金625、镍合金718：1200元/小时

不锈钢316L、不锈钢15-5PH、不锈钢17-4PH、模具钢H13：540元/小时
模具钢1.2709：600元/小时
钛合金Ti6Al4V、钴铬合金、铝合金、镍合金625、镍合金718：960元/小时

不锈钢316L、不锈钢15-5PH、不锈钢17-4PH、模具钢H13：450元/小时
模具钢1.2709：500元/小时
钛合金Ti6Al4V、钴铬合金、铝合金、镍合金625、镍合金718：800元/小时

-

--

夏老师

139 0716 6027

124

超精密三轴联动纳米级控制及补偿技术

平台

1000

800

600

-

--

周老师

189 7107 9726

125

车铣复合加工中心

Hyperturn 65

839

672

420

-

--

126

五轴加工中心

VMX42UHSi

440

352

220

-

--

127

五轴联动加工中心

GY003/400

262

210

131

-

--

128

DSPACE实时仿真系统

650

500

300

-

--

129

电机快速原型

设计系统

650

500

300

-

--

130

微机控制电子

万能试验机

*（开机费600元）

200

160

100

-

--

刘振

157 0072 6958

131

数控车床

HTC3650

130

104

65

40

--

朱老师

189 7169 3609

132

立式加工中心

VMC850E

132

106

66

40

--

朱老师

133

液氮

20元/次

134

谱库检索

10元/次

135

刻盘

5元/片

备注：1.以上收费标准均为标准实验，特殊实验收费面议；

2.自操作须经实验中心培训取得相关资质后方可进行。